一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置及方法

本发明公开了一种基于偏振光栅的载频干涉检测装置和方法，利用偏振光栅将参考光与测试光产生一定角度的分离来实现载频，并通过最小二乘迭代空间载波移相解调算法解调面形，从而将空间移相转化为时间移相，提高解调精度且避免了由偏振相机引入的像素与像素间的偏振误差，实现了高精度载频干涉检测。该基于偏振光栅的载频干涉检测方法只需单幅载频干涉图即可计算面型，适合动态测量，且有效解决了传统载频干涉检测法中像素间的偏振误差问题。利用本发明，可以有效且高精度的实现待测物体面形的动态载频干涉检测。