单晶硅的拉晶工艺优化方法、系统、设备和存储介质

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单晶硅的拉晶工艺优化方法、系统、设备和存储介质
申请号:CN202510125292
申请日期:2025-01-26
公开号:CN120006387A
公开日期:2025-05-16
类型:发明专利
摘要
本申请涉及一种单晶硅的拉晶工艺优化方法、系统、设备和存储介质,该方法包括:获取生产过程中实时的目标数据;目标数据包括工艺参数、质量指标以及设备状态;将目标数据输入工艺流程中各工艺步骤对应的训练完备的优化策略模型,生成优化策略;基于优化策略调整工艺步骤的工艺参数,当工艺步骤的质量指标满足相应的预设质量要求时进入下一工艺步骤,直至完成当前生产批次。通过本申请,按照工艺步骤顺序进行优化控制调整工艺参数,只有在每个工艺步骤的质量指标满足质量要求时才会进入下一工艺步骤,能够保证每个步骤的优化效果,进而稳定控制生产质量,解决了优化效果不稳定,难以稳定控制生产质量的问题。
技术关键词
工艺优化方法 单晶硅 策略 参数 工艺优化系统 数据获取模块 模型更新 处理器 计算机设备 可读存储介质 存储器 基准 关系
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