微型LED显示芯片、显示单元及其形成方法、以及显示结构的形成方法

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微型LED显示芯片、显示单元及其形成方法、以及显示结构的形成方法
申请号:CN202510125727
申请日期:2025-01-26
公开号:CN119907376A
公开日期:2025-04-29
类型:发明专利
摘要
本发明实施例提供一种微型LED显示芯片、显示单元及其形成方法、以及显示结构的形成方法,其中,所述显示单元的形成方法包括:在第一限制层上形成牺牲层;在所述牺牲层上形成第一金属层;对所述第一限制层的表面进行粗化处理,所述粗化处理包括采用所述第一金属层形成的金属团簇作为掩膜进行刻蚀的步骤。本发明可以增大光子逸出的概率,提升出光效率。
技术关键词
LED显示芯片 显示结构 干法刻蚀工艺 掩膜 台面 退火工艺 增透膜 透明导电层 连线层 微结构 像素 气体 电路
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