一种DBR光栅模组及其制作方法与生物传感系统

本发明提供一种DBR光栅模组及其制作方法与生物传感系统，光栅模组包括衬底与对应M个不同反射波长的M个DBR光栅，同一DBR光栅中的多个光栅齿具有相同的光栅齿宽度与相同的光栅齿间距，M个DBR光栅划分为N个光栅组，同一光栅组中的多个DBR光栅具有相同的光栅齿间距与不同的光栅齿宽度，N个光栅组对应N种不同的光栅齿间距。本发明的DBR光栅模组的布局设计减少了整个波长范围内所需的光栅特征尺寸数量，使其制作方法能够实现更大的光刻工艺窗口与更小的刻蚀负载。本发明的生物传感系统能够在同一个芯片内通过集成数量众多的靶向DBR光栅在较宽波长范围内分别选择数量众多的波长以实现特异性识别，满足多个参数的同时检测。