一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统

本发明公开了一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统，属于软传感器技术数据生成领域。收集晶圆制造过程中的数据作为训练集，包括半导体关键制造步骤的过程数据和量测数据；利用训练集迭代训练回归增强扩散模型；在迭代训练过程中，每完成一轮训练后根据虚拟样本子集的非支配排序结果和拥挤度结果筛选部分虚拟样本子集并加入训练集；最后，以随机高斯噪声为输入，利用训练后的回归增强扩散模型的回传去噪模块生成虚拟过程数据，将生成结果作为半导体关键制造步骤的软传感器技术数据。本发明增强了模型捕捉复杂映射关系的能力，能够生成具备代表性的高质量的合成训练样本用于软传感器模型的训练，显著提升现有软传感器模型的性能。