一种三维堆叠动态随机存取存储器及其制备方法

本发明提供一种三维堆叠动态随机存取存储器及其制备方法，该存储器包括：衬底以及位于衬底上方的第一晶体管和第二晶体管，第一晶体管和第二晶体管之间通过多层金属互连结构电连接，且多层金属互连结构的宽度自上而下呈逐层递减趋势。本发明采用宽度逐层递减的多层金属互连结构可以在有限的芯片面积内实现更高的布线密度，有助于在更小的空间内实现更复杂的电路功能，提高芯片的集成度和可靠性，同时降低功耗和提高性能；而且采用宽度自上而下呈逐层递减的多层金属互连结构可以有效地减少信号在传输过程中的衰减，有助于保持信号在整个互连结构中的一致性；此外，还可以有效地减少信号传输过程中的延迟和干扰，有助于提高电路的整体性能和稳定性。