摘要
本发明公开了一种二硫化钼纳米孔芯片及其制备方法与应用,属于环境污染物检测技术领域。本发明首先制备PMMA‑MoS2薄膜,然后将其转移至氮化硅表面。通过氦离子束刻蚀技术和扫描电子显微镜技术结合在二硫化钼薄膜上形成纳米孔。此传感器可用于高效检测环境中的铜(Cu)‑硫氰酸盐复合物,具备高灵敏度、快速响应和良好的选择性的特点,适用于环境监测和污染物检测等领域。
技术关键词
纳米孔芯片
MoS2薄膜
环境污染物检测技术
扫描电子显微镜
聚甲基丙烯酸甲酯
离子束刻蚀技术
二硫化钼薄膜
复合物
气相沉积技术
基底
氮化硅层
椭圆形
尺寸
图案
气体
系统为您推荐了相关专利信息
误差抑制方法
模拟退火算法
重构算法
滤光片结构
探测器
陶瓷微观结构
身份认证系统
图像采集模块
特征提取模块
图像分析算法
数据集构建方法
重要性评估方法
机器学习模型
记录环境参数
图像滤波算法