一种弹性吸嘴组件、共晶设备和共晶方法

本发明涉及共晶设备技术领域，特别涉及一种弹性吸嘴组件、共晶设备和共晶方法；其中，弹性吸嘴组件包括底座、设于底座上的至少两个吸嘴以及对应于每一吸嘴设置的弹性组件；吸嘴包括相连的连接段和工作段，弹性组件的两端连接底座及对应的吸嘴的连接段；底座上设有贯穿的避位通道，工作段可活动地位于避位通道内，且工作段于底座的一侧穿过避位通道外露于底座的另一侧；工作段上设有真空气路，以及对应真空气路设置的透视窗口；外界光线可以依次经过透视窗口和真空气路后从吸嘴的吸附口穿出。本方案可同时对多个芯片进行贴装和弹性抵持，允许在贴装的过程中获取芯片的方位从而对芯片进行即时调整，实现了多芯片的高效贴装和即时校准能力。