一种基于晶圆图的晶圆缺陷分类方法及装置

本发明涉及一种基于晶圆图的晶圆缺陷分类方法及装置，方法包括：获取目标晶圆的缺陷图以及无缺陷的参考图；对所述缺陷图和所述参考图分别进行二值化处理，得到二值缺陷图和二值参考图；根据所述二值缺陷图和二值参考图之间的差异，确定差异图；对所述差异图上的图案进行聚类操作，以确定包围所述图案的目标轮廓；当所述目标轮廓的包围面积大于等于预设的第一阈值时，将所述图案确定为缺陷图案；根据所述目标轮廓在所述缺陷图上进行裁剪，得到包含所述缺陷图案的第一裁剪图；至少将所述第一裁剪图输入到缺陷分类模型中，确定所述缺陷图案的缺陷类型。