一种DSP上下料自适应受力检测控制方法及装置

本发明公开了一种DSP上下料自适应受力检测控制方法，包括以下步骤：机械手吸取晶元向下移动并实时检测三个力传感器的实时压力值；当检测到任意实时压力值大于预设压力值时，停止机械手进行姿势调整，判断是否继续下移重复前述流程，直至三个实时压力值均大于预设压力值，分别计算三个实时压力值与当前平均压力值的差值并据此调整机械手姿势至三个差值均小于阈值压力值，判断三个实时压力值是否大于告警压力值并据此调整机械手位置。本发明实时监测力与设定值进行实时比对，控制取放料过程中机器人动作姿势，使晶圆在上下料过程中受力均匀，避免损坏。本发明还公开了用于实现上述方法的装置、电子设备和计算机可读存储介质。