芯片外观检测设备

本发明揭示了芯片外观检测设备，包括大理石载台、设置在大理石载台上的芯片载具供给装置、芯片视觉检测装置、芯片载具输出线、芯片载具周转装置；芯片载具供给装置包括芯片载具承托机构；芯片视觉检测装置包括检测承托机构和影像采集机构，检测承托机构包括水平载台及复位检测部，影像采集机构包括影像载座、位置度监控传感器，影像载座上设有微距摄像端，微距摄像端连接有与位置度监控传感器相通讯连接的矫正模块；芯片载具周转装置包括周转机械臂。本发明满足微型芯片外观微距检测需求，通过机位与平台相对位置度矫正确保检测影像质量，缺陷检测识别精确全面，维持检测精度周期较长，无需频繁手动校准。自动化运行高效流畅。