一种普适化、多功能的多晶振膜厚精确控制系统

本发明公开了一种普适化、多功能的多晶振膜厚精确控制系统，涉及薄膜厚度控制领域，该系统包括以下组成部分：数据采集层、数据处理层、控制策略层和人机交互层；本发明通过采用多个不同量程和频率的多晶振检测模块，配合先进的数据采集与处理算法，实现了对膜厚的高精度检测，并且智能量程切换与自适应补偿机制确保了膜厚数据在量程切换过程中的连续性和准确性，避免了传统膜厚检测方法中可能出现的精度不足和数据中断问题，同时，控制策略层根据实时数据自动调整镀膜工艺参数，并通过自学习功能不断优化PID参数，进一步提升了膜厚控制的稳定性和精度。