一种纳米孔测序芯片及其制备方法和封装结构

本发明公开一种纳米孔测序芯片及其制备方法和封装结构，涉及微纳加工、先进封装及生物医疗领域。其包括第一绝缘层、第二绝缘层和电极，第二绝缘层设置在第一绝缘层上，第二绝缘层上设有若干个阵列排布的孔；孔贯穿第二绝缘层，与第一绝缘层连通；电极设置在孔的底部；第二绝缘层上设有疏水区，疏水区位于孔的上方并环绕孔设置；孔底部设有亲水改性区。其制备方法简单，可以利用光衍射特性，仅通过一次光刻曝光技术制备出类双层结构。其封装结构采用金属引线和无引脚封装形式，解决金属引线的串扰问题；采用分离式运输，可以延长保质期。本发明的纳米孔测序芯片结构简单、成本低、稳定性好。