用于芯片测试的可调节转运系统

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用于芯片测试的可调节转运系统
申请号:CN202510151414
申请日期:2025-02-11
公开号:CN119993887A
公开日期:2025-05-13
类型:发明专利
摘要
一种用于芯片测试的可调节转运系统,所述可调节转运系统包括:可调节托盘,配置为容置待测芯片,所述待测芯片在所述可调节托盘上的阵列排布配置为调节至与测试夹具阵列相匹配,所述可调节托盘包括:托盘框架;多条第一栅条,设置在所述托盘框架中,沿第一方向延伸且相互平行设置,配置为能够沿第二方向滑动,其中所述第一方向与所述第二方向正交;多条第二栅条,设置在所述托盘框架中,沿所述第二方向延伸且向上平行设置,配置为能够沿所述第一方向滑动,以及可调节转运器,配置为自所述可调节托盘拾取待测芯片并转运至所述测试夹具阵列,可调节转运器包括阵列设置的多个拾取部件,拾取部件的阵列排布配置为调节至与测试夹具阵列相匹配。
技术关键词
转运系统 可调节托盘 托盘框架 导向管 测试夹具 栅条 待测芯片 T型管 阵列 套管 吸气装置 锁定件 手柄 通孔 自由端 滑块 松弛 长条形 管路
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