一种Micro OLED屏体清洗装置及方法

本发明涉及Micro OLED屏体清洗技术领域，具体为一种Micro OLED屏体清洗装置，包括机架以及设于机架上的机械手和清洗单元，机械手用于将待清洗的芯片搬运至清洗单元，清洗单元包括清洗槽、设于清洗槽内的清洗台，清洗台上设置固定芯片的固定装置，固定装置包括由橡胶制成的固定片，固定片边缘固定在清洗台上，固定片背离清洗台一面的中间位置开设有与芯片尺寸相适配的固定盲孔，固定片另一面对应固定盲孔的位置设置有铁件，机械手的末端执行器上安装有电磁铁。本发明允许机械手利用磁力辅助快速而准确地将芯片定位并固定在清洗台上的固定盲孔中，同时确保了芯片四周的夹缝被有效封闭，防止清洗过程中杂质的侵入，有效的提高了芯片清洗的质量。