一种点喷补偿蚀刻装置

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一种点喷补偿蚀刻装置
申请号:CN202510161254
申请日期:2025-02-13
公开号:CN119603873A
公开日期:2025-03-11
类型:发明专利
摘要
本发明属于线路板蚀刻处理技术领域,公开了一种点喷补偿蚀刻装置,包括蚀刻缸和传送装置,蚀刻缸用于存放蚀刻液,传送装置用于传送蚀刻工件,还包括多组喷嘴,各组喷嘴沿着蚀刻工件的传送方向依次设置,每组喷嘴包含多个沿垂直于蚀刻工件传送方向依次排列的喷嘴;蚀刻缸连接有补偿泵,补偿泵通过管道与各喷嘴相连,每个喷嘴的进液侧均设置有用于控制该喷嘴打开和关闭的点喷控制阀;还包括控制器,喷淋管上安装有压力表,补偿泵、点喷控制阀、进液控制阀和压力表均与控制器电性相连;本发明可根据蚀刻工件上残铜的分布自动控制相应喷嘴的开启和关闭,适用于为各种不同类型、不同残铜缺陷的电路板进行点喷补偿蚀刻。
技术关键词
蚀刻装置 控制阀 工件 图像采集装置 控制器 光学检测机构 光学干涉仪 激光光源 蚀刻液 识别模块 压力表 存储模块 光束 识别算法 控制模块 探测器 照明装置 分束器 电信号
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