基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统

本发明提供了一种基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统，包括：在探针相对晶圆电极触板移动对准的过程中，实时获取GSG三个触点相对三个接触垫片的散射参数；根据散射参数的极坐标图位置执行探针的调平操作，包括：根据散射参数的极坐标图位置调控GSG三个触点连线与电极触板所在平面的夹角θ，使GSG三个触点连线与电极触板所在平面平行；根据散射参数的实部值变化执行探针的三维位置的对准操作，包括：根据散射参数的实部值变化调控GSG三个触点相对三个接触垫片的XYZ轴的位置，使GSG三个触点分别与三个接触垫片接触。本发明实现了探针在X、Y、Z和θ四个方向上的自动精细调控，以提高对准精度、可重复性和测量准确性。