摘要
本发明公开了静电薄膜电机、二自由度电机和移动加工机器人,静电薄膜电机包括由上至下依次设置的顶层绝缘层、顶层胶合层、顶层电极层、基底层、底层电极层、底层胶合层和底层绝缘层;顶层绝缘层用于对顶层电极层进行电气绝缘;顶层胶合层用于粘接固定顶层绝缘层和顶层电极层;顶层电极层包括多相平行排列的电极;基底层用于隔离顶层电极层与底层电极层;底层电极层包括多相电极,底层电极层的多相电极与顶层电极层的多相电极呈正交布置;底层胶合层用于粘接固定底层电极层与底层绝缘层;底层绝缘层对静电薄膜电机的底部进行电气隔离。本发明解决了静电薄膜电机运动灵活性差和输出力低的问题。
技术关键词
薄膜电机
二自由度电机
静电
电极
基底层
焊盘
机器人
供电设备
电气
定子组
检测设备
垫片
绝缘
机械
运动
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