一种制备单晶金刚石表面微纳图案的化学腐蚀剂及腐蚀方法

本发明公开了一种制备单晶金刚石表面微纳图案的化学腐蚀剂及腐蚀方法。包括以下步骤：单晶金刚石表面处理，采用机械抛光进行粗抛和精抛；制备化学腐蚀剂，该化学腐蚀剂包括稀土氧化物、溶剂、分散剂和氧化剂；将抛光后的样品置于腐蚀剂中，设定加工条件；将腐蚀后的样品超声清洗，干燥，得到含有表面微纳图案的单晶金刚石。本发明的化学腐蚀工艺具有高选择性、高均匀性和无机械损伤的优势，能够实现对单晶金刚石表面形貌的精确调控，为高性能光电子器件、量子芯片及微纳传感器等领域提供可靠的制备手段。本发明工艺简便、成本可控，适用于单晶金刚石微纳结构的高效制备，具有广泛的应用前景。