流体控制装置、流体控制装置用控制单元、流体控制方法和存储介质

本发明提供流体控制装置、流体控制装置用控制单元、流体控制方法和存储介质，能在实现高速响应的同时进行高精度的流量控制，观测器基于流量传感器输出的流量测定值与流量传感器模型输出的流量推定值的偏差，求出推定流量传感器模型相对于流量传感器的模型误差的模型误差推定值、以及推定流体控制阀的变化导致的流量误差的流量误差推定值，将模型误差推定值输入流量传感器模型，并基于流量误差推定值和阀模型输出的阀流量推定值向反馈控制器输出推定值。