一种基于MES系统数据检测晶棒品质并定级的方法及控制系统

本发明公开了一种基于MES系统数据检测晶棒品质并定级的方法及控制系统。传统晶棒品质检测依赖专门检测机，存在流程繁琐、易受环境干扰、精度不足等问题，导致生产效率低、成本高且分级不准确。本发明的系统由平磨机、数据传输模块和MES系统构成。平磨机采集加工数据并绑定晶棒标识，数据传输模块加密传输数据，MES系统进行数据清洗、特征提取、品质定级及数据存储管理。方法包括数据采集绑定、传输、处理提取、品质定级和存储管理步骤。通过MES系统与平磨机通讯，直接获取加工数据作为分级依据，提升了生产效率，降低了成本，增强了品质定级准确性和系统可追溯性，适用于晶棒生产行业。