一种可调节的边缘耦合器

本发明公开了一种可调节的边缘耦合器，属于边缘耦合器技术领域，能够解决现有边缘耦合器的光波导和光纤的纤芯难以精确对准，从而严重影响边缘耦合器耦合性能的问题。所述边缘耦合器包括：衬底，其上表面开设有条形凹槽；条形凹槽的一端贯通衬底；埋氧化层，设置在衬底上，其与条形凹槽对应的位置开设有连通条形凹槽的第一通槽和第二通槽；埋氧化层位于第一通槽和第二通槽之间的部分形成悬臂梁；光波导，设置在悬臂梁上，其一端为锥形，且所述锥形的尖端位于悬臂梁的自由端上；调节模块，设置在埋氧化层上，用于调节光波导的位置。本发明用于光纤和芯片之间的耦合。