摘要
本发明属于半导体封装贴片技术领域,尤其是一种功率器件的上片封装装置及工艺,其包括水平设置的加工台以及固定设于加工台上的控制台,还包括:推动机构,包括沿所述加工台顶部水平面上对称设置的两个导轨,两个所述导轨的顶部均设有L型座,所述加工台的底部对称固定安装有两个支撑架,两个支撑架均为H状设置;升降机构,设于L型座上,用于加工时的升降驱动;凹架,固定安装于所述加工台的前侧,所述凹架的顶部上方设有旋转支架,旋转支架的顶部一端固定安装有收集箱。本发明结构简单,在对产品上片封装前,保证了晶圆片的洁净性,避免了由于灰尘而影响产品质量的情况,方便人们使用。
技术关键词
封装装置
功率器件
收集箱
旋转支架
控制台
锥齿轮
推动机构
旋转电机
吸尘
传动杆
灰尘
托座
旋转轴
芯片封装
升降机构
清洁机构
污染工作环境
推杆
导轨
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