摘要
本申请公开了一种封胶气泡去除方法、设备、介质及产品,涉及半导体封装技术领域,该方法包括:将目标封装体设置在真空设备内部;通过对真空设备同时进行抽吸操作和温度调节操作,使所述真空设备内部的真空度达到预设真空度,并对所述真空设备内部的温度梯度进行调整,以去除目标封装体内的气泡,本申请可在保证不损伤芯片和封装材料的前提下,高效率、低成本且有效的去除高密度封装胶中的深层气泡。
技术关键词
真空设备
真空度
气泡
封装体
半导体封装技术
处理器
计算机程序产品
压强
封装材料
计算机设备
可读存储介质
存储器
高密度
真空泵
高效率
低成本
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芯片
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