摘要
本发明涉及电子制造生产领域,具体的说是一种用于集成电路芯片的取放装置,包括工作台,所述工作台上从后至前分别设置有放置台和取放台,所述工作台的后端设置有移动座,本发明通过设置清理组件,清理组件中的清理盘、抽尘环、高压抽气管等结构协同工作,在吸嘴杆吸附芯片之前,快速将芯片表面的杂质清理掉,环形阵列的高压抽气管配合底部的抽尘槽,能全面覆盖芯片表面,确保尽可能多地吸走杂质,且清理盘下方的密封垫与芯片台表面接触形成密封空间,在抽气总盘产生负压时,形成局部负压环境,增强气流集中性,使芯片表面的杂质更快速地被吸入抽尘槽,进一步提高了清理杂质的效率,降低杂质堵塞吸嘴气孔的风险。
技术关键词
集成电路芯片
过滤环
磁力控制装置
清理组件
弹簧杆
工作台
移动座
气管
阻尼弹簧
高压
缓冲组件
屏蔽板
收集箱
密封垫
支撑座
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检测芯片
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