一种用于集成电路芯片的取放装置

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一种用于集成电路芯片的取放装置
申请号:CN202510184734
申请日期:2025-02-19
公开号:CN119650502B
公开日期:2025-08-29
类型:发明专利
摘要
本发明涉及电子制造生产领域,具体的说是一种用于集成电路芯片的取放装置,包括工作台,所述工作台上从后至前分别设置有放置台和取放台,所述工作台的后端设置有移动座,本发明通过设置清理组件,清理组件中的清理盘、抽尘环、高压抽气管等结构协同工作,在吸嘴杆吸附芯片之前,快速将芯片表面的杂质清理掉,环形阵列的高压抽气管配合底部的抽尘槽,能全面覆盖芯片表面,确保尽可能多地吸走杂质,且清理盘下方的密封垫与芯片台表面接触形成密封空间,在抽气总盘产生负压时,形成局部负压环境,增强气流集中性,使芯片表面的杂质更快速地被吸入抽尘槽,进一步提高了清理杂质的效率,降低杂质堵塞吸嘴气孔的风险。
技术关键词
集成电路芯片 过滤环 磁力控制装置 清理组件 弹簧杆 工作台 移动座 气管 阻尼弹簧 高压 缓冲组件 屏蔽板 收集箱 密封垫 支撑座 距离传感器 检测芯片 方形 橡胶垫
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