一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法

本发明涉及光学元件表面缺陷检测装置及方法，具体涉及一种大口径光学元件表面缺陷检测装置及方法，用于解决现有的检测方法在面对大口径光学元件的损伤检测时，存在或是无法提供量化的评估标准，或是效率较低难以有效应对大范围的检测需求，或是无法获取缺陷的三维形貌信息的不足之处。该大口径光学元件表面缺陷检测装置利用二元变形衍射光栅的衍射特性，由相机单次采集多个不同衍射级次的衍射光斑，通过相位恢复算法计算大口径光学元件的表面相位，并结合二维平移台使激光光束对大口径光学元件的整个表面进行扫描，从而实现大口径光学元件表面缺陷的检测。