一种基于同步移相的激光损伤自动判断装置与方法

本发明公开了一种基于同步移相的激光损伤自动判断装置与方法。方法包括：将激光器输出的光束调整为线偏振平行光束；将线偏振平行光束均分为两束光，一束光作为参考光，另一束光作为测试光入射至待测光学元件；调整参考光的偏振方向使其改变90°，同时调整测试光的偏振方向使其改变90°；将偏振方向调整后的参考光和测试光进行干涉，并调整为含有被测波差信息的线偏光；对线偏光进行同步移相图像采集，获得同步移相干涉图；基于同步移相干涉图，利用移相算法复原得到待测光学元件真实相位；对待测光学元件真实相位进行计算得到待测光学元件面型；通过上位机对待测光学元件面型进行损伤自动判断并输出判断结果。本发明能实现光学元件表面激光损伤的非接触式高空间分辨率自动判断。