摘要
本申请实施例公开了一种无铜柱晶圆PLP封装方法,所述方法包括:提供无铜柱晶圆和基板,将无铜柱晶圆上的所有芯片采用倒装的方式转移至所述基板上;在所述基板上形成包裹所述芯片的第一塑封层后,拆除所述基板,以露出所述芯片的引脚;将所述芯片的引脚进行金属外延,生成铜柱;在所述第一塑封层上形成包裹所述铜柱的第二塑封层;将所述第二塑封层研磨至露出所述铜柱的顶端,并基于露出的所述铜柱进行线路制作以完成最终的芯片封装。通过本申请实施例,以解决如何对无铜柱的晶圆进行PLP封装的技术问题。
技术关键词
封装方法
芯片封装
基板
环氧树脂模塑料
外延
液态封装材料
图纸
表面处理工艺
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双面胶膜
光刻胶膜
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