扫描电镜自动测试系统及金属块体或薄膜样品测试方法

本发明提供一种扫描电镜自动测试系统，用于对金属块体或薄膜样品进行自动测试，包括：扫描电镜、进出样装置、工业机器人、控制系统，所述扫描电镜、进出样装置、工业机器人之间进行通信并由控制系统进行指令控制，所述扫描电镜配置有放置测试样品的样品盒、舱门，所述进出样装置用于对样品盒进行控制以将其自动拉出或推进扫描电镜舱，所述工业机器人用于放置包含样品的样品载具在样品盒上。本发明方案可以将扫描电镜接入到实验室智能系统，完成自动测试和数据收集。本发明不受样品类型和尺寸的限制，例如常用的金属薄膜、金属块体均可适用。本发明方法不受扫描电镜尺寸的限制，进出样机构可以灵活的调整以适应不同尺寸的扫描电镜。