关键尺寸扫描电子显微镜图像处理方法及电子设备

本发明公开一种关键尺寸扫描电子显微镜图像处理方法及电子设备，方法包括采用预先训练好的图像处理模型对输入图像进行处理，得到优化图像；预先训练好的图像处理模型包括去噪分支和边缘增强分支，两个分支均基于U‑Net网络架构构成，去噪分支包括依次连接的第一编码器模块和第一解码器模块，第一编码器模块和第一解码器模块均采用SC block模块来提取图像的局部和全局特征；边缘增强分支包括边缘信息提取模块、依次连接的第二编码器模块和第二解码器模块；还包括特征融合模块，用于将第一编码器模块和第二编码器模块的各级输出融合以作为第一编码器模块的各级输入。与传统的图像去噪算法相比，该算法在去噪的同时解决了图像过度平滑导致的边缘模糊问题。