一种生成SEM图像的方法及装置

本申请公开了一种生成SEM图像的方法及装置，充分利用仿真数据的结构化信息，同时结合图像处理技术，得到了以光刻仿真为核心的，基于版图设计数据的SEM图像，确保了仿真图像既具有高真实性，又具备灵活的可调节性，省时省力，满足了高效自动化的需求。