一种五轴晶圆机器人

本申请属于晶圆机器人技术领域，公开了一种五轴晶圆机器人，包括：X轴组件，所述X轴组件上安装有Z轴组件；所述Z轴组件安装有T轴组件，所述T轴组件以Z轴方向运动；首先由上位机下达取片指令，得到取片指令后X轴组件和Z轴组件同时运动将T轴组件和RW轴组件送达到指定位置，然后T轴组件开始旋转到指定位置，进一步的R轴组件和W轴组件相继伸出，到达晶圆存放的指定位置；然后R轴传感器或者W轴传感器检测到晶圆的存在，开始夹持动作，将晶圆夹持到位后，由上位机下达下一个位置的指令，将晶圆放到指定位置后，机器人回到原点。