基于多项式拟合的半导体工艺工程数据拟合方法、设备、介质及产品

本申请涉及半导体制造技术领域，公开了一种基于多项式拟合的半导体工艺工程数据拟合方法、设备、介质及产品。该方法包括：采集半导体工艺工程数据，构建数据集；提取数据集中的特征变量和目标变量，并构建多项式；根据特征变量和目标变量，确定拟合计算过程中的优化系数，以及确定拟合计算过程中的优化函数；根据优化系数，使用优化函数对数据集中的训练集进行拟合计算，得到最优多项式；使用数据集中的验证集对最优多项式进行验证，若验证通过，则以最优多项式作为特征变量和目标变量之间的多项式拟合结果。通过采用本方案，可以实现提高拟合计算的效率，并提高拟合结果的准确性，避免人工介入，实现自动化拟合。