一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质

本发明提供了一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质，光罩包括：主芯片图形区、内切割道区、外切割道区；多组第一套刻标记图形组，分别摆放于外切割道区上；多个测试元件图形，摆放于内切割道区上；多组对位标记图形组，摆放于内切割道区上；多组第二套刻标记图形组，摆放于内切割道区上；第一套刻标记图形组包括多个套刻标记图形，第二套刻标记图形组包括多个套刻标记图形，对位标记图形组包括多个对位标记图形，图形单元的类型及数量根据制程工艺需求进行设定。通过本发明提供的一种光罩、图形元件的摆放方法、设备及介质，能够充分利用较小空间进行有效标记布置，提升整个设计的空间利用率。