一种用于光谱分析的硅基阵列探测器的紫外光减反膜

本发明公开了一种用于光谱分析的硅基阵列探测器的紫外光减反膜，属于光学薄膜技术领域。所述紫外光减反膜的结构从下往上依次包括硅基阵列芯片、厚度渐变膜层和匹配反射膜堆。基于成像光谱仪的阵列探测器单像元只探测单色光的特点，利用厚度渐变膜层以及匹配反射膜堆逐像元优化对应单色光的光吸收效率，从而实现更高效的光电转换效率，特别适用于紫外波段光谱分析用硅基探测器的性能优化。本发明提供的紫外光减反膜，可以极大提高硅基探测器的紫外光吸收效率，兼容现有硅基探测器制备工艺，膜系结构简单，易于制备和批量生产。