一种基于PTR玻璃的高精度玻璃通孔的制备方法

本发明公开了一种基于PTR玻璃的高精度玻璃通孔的制备方法。包括以下步骤：步骤1：将玻璃原料经过高温熔融、浇注成型及退火处理，得到PTR玻璃基板；步骤2：将PTR玻璃基板进行切割、双面抛光后，利用紫外光结合掩模进行图案化曝光，得到曝光玻璃；步骤3：将曝光玻璃进行梯度热处理，得到微晶化玻璃；步骤4：将微晶化玻璃在氢氟酸溶液中进行蚀刻，得到高深径比的玻璃通孔。有益之处：本发明通过优化材料配方和工艺流程，解决了传统方法中孔径不均匀、内壁粗糙及加工成本高的问题，显著提升了通孔加工的精度、稳定性及深径比。该方法适用于微电子封装、光学连接器、高频器件和微流体芯片等领域，具有广泛的工业应用前景。