一种脉冲调制等离子体射流的产生方法及其应用

本发明公开了一种脉冲调制等离子体射流的产生方法及其应用，具体涉及微电子领域，所述方法包括：Ⅰ、构建多学科关联数据库，并调制高压脉冲电源，同时优化脉冲波形参数；Ⅱ、通过高压电极施加脉冲电压生成等离子体射流，建立耦合仿真模型，模拟等离子体射流的演化过程；本发明能够减少人工操作的需求，避免主观偏差与信息损失，提高对抗环境干扰的鲁棒性，能够适应高速、高精度工艺需求；能够避免无效参数组合的测试，提高搜索能力，减少实验或仿真次数，提升射流系统对工况波动的抗干扰能力，降低维护频率。