一种基于视觉的GSG探针平面化方法

本申请属于精密机械领域，尤其涉及一种基于视觉的GSG探针平面化方法，该GSG探针平面化方法通过机器视觉获取GSG探针针痕面积(像素点个数)，基于不同超程下的针痕比例‑夹角数学模型。在平面化过程中，只需获取GSG探针针痕面积，即可获得GSG探针与晶圆之间的夹角，将其作为GSG探针转动的输入值，从而实现GSG探针平面化。此外，提出的两种探针针痕比例计算方法，分别用于大夹角和小夹角的情况，提高了平面化的角度调控范围。