一种芯片老化机台温控检测系统

本发明属于半导体测试的技术领域，具体涉及一种芯片老化机台温控检测系统，包括老化机台、数据转换传输电路和温度校准箱，所述温度校准箱内设有若干个温度传感器A，所述温度传感器A与数据转换传输电路信号连接并实时反馈温度信息于老化机台的温度解析系统上，所述温度校准箱的四周及中心点设有九个温度传感器B，九个所述温度传感器B均信号连接有温湿度场巡检仪，所述温湿度场巡检仪通过九个温度传感器B实时获取温度校准箱四周及中心点的温度信息。本发明实现了对老化机台内部温度环境的全方位、高精度监控，增强了整个系统的稳定性、准确性和全面性，确保了老化测试中实际温度状态的精准度，保证了芯片的老化测试效果。