一种泛半导体产业含氟污泥的快速检测设备和方法

本申请提供一种泛半导体产业含氟污泥的快速检测设备和方法。该设备包括壳体、样品台和检测系统，样品台包括承载组件和第二驱动件；承载组件活动连接于壳体内，且承载组件包括具有承载腔室的第一承载件和具有第一安装腔室的第二承载件；第一承载件通过第一驱动件安装于第一安装腔室内，第一驱动件用于带动第一承载件绕其第一中心轴旋转；第一中心轴沿垂直于第二承载件的方向延伸；第二驱动件设置于第二承载件，第二驱动件的输出端与第一驱动件连接；第二驱动件用于带动第一承载件相对于第一中心轴在1°～5°内进行偏心运动；检测系统设置于壳体内，用于检测待检测样品的轻元素含量。本申请能够对轻元素进行定量检测，且具有较高的检测灵敏度。