摘要
本申请提供了一种芯片散热结构,该芯片散热结构包括:多个基板,多个基板沿基板的厚度方向依次叠层设置,多个叠层设置的基板中,至少一端的基板上设置有连接端子,连接端子用于连接芯片;腔体,位于至少两个设定的基板之间;散热介质,位于腔体内,散热介质包括液态金属和惰性气体。通过在叠层设置的多个基板中设置腔体并填充散热介质,在温度变化时,惰性气体的体积膨胀或收缩可以促进液态金属的流动,从而调节腔体内部的热量分布,提高芯片散热结构的散热效率。
技术关键词
芯片散热结构
腔体
叠层
镓基液态金属
氮化铝基板
走线结构
端子
密封胶
介质
氮气
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