一种用于浮栅晶体管电离总剂量辐照试验电参数的测试系统及方法

本发明提供一种用于浮栅晶体管电离总剂量辐照试验电参数的测试系统及方法，主要解决现有半导体参数测试系统结构复杂、体积较大、测试成本较高及测试精度较低等技术问题。该测试系统包括辐照偏置板、辐照测试单元、采集单元、电源及控制单元；辐照偏置板位于辐照场内，用于安装被测浮栅晶体管；辐照测试单元包括辐照测试板，以及配置模块和配置检测模块；配置模块的输入端与控制单元连接，输出端与被测浮栅晶体管连接；配置检测模块与被测浮栅晶体管连接；采集单元的输入端连接被测浮栅晶体管，输出端连接控制单元；电源分别与辐照偏置板、辐照测试板及采集单元连接。本发明的测试系统结构简单且测试精度较高。