一种用于光刻工艺窗口分析的输入数据质量评估方法

本发明涉及一种用于光刻工艺窗口分析的输入数据质量评估方法，方法包括以下步骤：S1、获取标准化后的数据；S2、采用RANSAC回归算法，得到稳健回归残差分析置信度；S3、基于隔离树异常分数得到隔离树置信度；S4、采用局部离群因子法得到局部离群因子置信度；S5、综合隔离树置信度和局部离群因子置信度得到无监督置信度；S6、得到高斯置信度；S7、综合稳健回归残差分析置信度、无监督置信度和高斯置信度得到综合置信度，得到用于光刻工艺窗口分析的输入数据质量评估结果。与现有技术相比，本发明具有提高光刻工艺窗口分析的输入数据质量等优点。