一种用于芯片的全自动探针测试设备及其方法

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一种用于芯片的全自动探针测试设备及其方法
申请号:CN202510229199
申请日期:2025-02-28
公开号:CN119716173B
公开日期:2025-06-17
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片探针测试技术领域,具体为一种用于芯片的全自动探针测试设备及其方法,测试设备包括有探测机主体,探测机主体上安装有吸附定位芯片的平台,平台上方环设有多个探针器,且平台上方还安装有用于驱动探针器空间移动的位置调节器,探针器包括有探针根组和V型探针,传统技术中探针单次与芯片接触来完成探测,测试的数据结果准确无法保证,而同一个探针对芯片多次接触测试,如果探针本身有问题,多次测试的数据全部错误,因此本发明采用多个V型探针轮流接触芯片来进行多次测试,通过分析多个数据来确认正确数据,同时可以排查出有问题的V型探针,进而及时更换V型探针,确保后续的芯片探测工作正确进行。
技术关键词
探针测试设备 探针器 芯片 位置调节器 卡盘装置 V型 齿条啮合传动 探针测试方法 探针测试技术 压力装置 行程 平台 升降板 齿轮啮合传动 发条 弹片 柱状 轴向滑槽
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