摘要
本发明涉及芯片探针测试技术领域,具体为一种用于芯片的全自动探针测试设备及其方法,测试设备包括有探测机主体,探测机主体上安装有吸附定位芯片的平台,平台上方环设有多个探针器,且平台上方还安装有用于驱动探针器空间移动的位置调节器,探针器包括有探针根组和V型探针,传统技术中探针单次与芯片接触来完成探测,测试的数据结果准确无法保证,而同一个探针对芯片多次接触测试,如果探针本身有问题,多次测试的数据全部错误,因此本发明采用多个V型探针轮流接触芯片来进行多次测试,通过分析多个数据来确认正确数据,同时可以排查出有问题的V型探针,进而及时更换V型探针,确保后续的芯片探测工作正确进行。
技术关键词
探针测试设备
探针器
芯片
位置调节器
卡盘装置
V型
齿条啮合传动
探针测试方法
探针测试技术
压力装置
行程
平台
升降板
齿轮啮合传动
发条
弹片
柱状
轴向滑槽
系统为您推荐了相关专利信息
生物标志物
抑制卵巢癌细胞增殖
编码
免疫组织化学染色
转移性卵巢癌
封装堆叠结构
闪存芯片
LPDDR芯片
SOC芯片
存储芯片