一种基于弧形凹腔单模光纤的马赫-曾德尔干涉仪光纤传感器

本发明提供的是一种基于弧形凹腔单模光纤的马赫‑曾德尔干涉仪光纤传感器。其特征是：它由顺次连接的入射光纤1、分束器2、干涉臂3、合束器4和出射光纤5。入射光纤1用于传输输入光信号，分束器2将入射光纤1中的光信号耦合到干涉臂3中，干涉臂3作为传输波导，其中设置三个深度和曲率半径不同的弧形凹腔，当待测溶液浸入凹腔时，其折射率变化通过光程差和相位差调制干涉光谱，三个凹腔的设计可同时测量反应过程中三个独立位置的折射率分布，合束器4将干涉臂3中的光信号重新合并，并耦合到出射光纤5中，出射光纤5负责输出光信号，并将其传输至检测设备进行分析。本发明通过多凹腔梯度敏感特性，结合飞秒激光微加工技术，实现了多位置同步检测，解决了传统单位置传感器的偶然误差问题，适用于微流控反应等需动态监测折射率变化的场景。