一种用于真空腔室的玻璃基板搬运机械臂

本发明涉及玻璃基板生产搬运技术领域，公开了一种用于真空腔室的玻璃基板搬运机械臂，包括电动平移台，所述电动平移台的两端均固定连接有防护架，所述电动平移台的两侧固定连接有分布均匀的支撑板，所述防护架和支撑板的底部均贯穿并螺纹连接有支撑腿，所述电动平移台之间设置有固定台，所述固定台的顶部固定连接有电动旋转台，所述电动旋转台的顶部固定连接有放置台。通过电动调节阀打开液氮罐，然后在打开第一低温球阀，液氮罐中的液氮由液态转而成为气态，氮气通过加湿管进入水箱内，让氮气以气泡的形式通过水层，在这个过程中，氮气与水充分接触，部分水汽会蒸发并混入氮气中，从而实现氮气的加湿。