一种3D封装光学引擎及其封装方法

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一种3D封装光学引擎及其封装方法
申请号:CN202510488652
申请日期:2025-04-18
公开号:CN120341187A
公开日期:2025-07-18
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种3D封装光学引擎及其封装方法,该光学引擎采用PIC上堆叠EIC的结构,EIC位于光学引擎的最上层,具有最小的热阻,有利于EIC的散热。PIC被贴装在2.5D EIC模组上。通过挖空基板或在PIC的同层集成TGV转接板,使PIC可以支持较厚的厚度,甚至无需减薄,有利于PIC实现低翘曲。并采用集成无源器件(IPD)的方法,实现无源器件的集成。
技术关键词
光学引擎 模组 封装方法 薄膜淀积工艺 深沟槽电容器 接触面 转接板 集成无源器件 光刻技术 玻璃基板 电子芯片 布线 低翘曲 蚀刻 光信号 电气 焊球
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