摘要
本发明提供了一种3D封装光学引擎及其封装方法,该光学引擎采用PIC上堆叠EIC的结构,EIC位于光学引擎的最上层,具有最小的热阻,有利于EIC的散热。PIC被贴装在2.5D EIC模组上。通过挖空基板或在PIC的同层集成TGV转接板,使PIC可以支持较厚的厚度,甚至无需减薄,有利于PIC实现低翘曲。并采用集成无源器件(IPD)的方法,实现无源器件的集成。
技术关键词
光学引擎
模组
封装方法
薄膜淀积工艺
深沟槽电容器
接触面
转接板
集成无源器件
光刻技术
玻璃基板
电子芯片
布线
低翘曲
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