萃盘夹取机构及其搬运装置

本申请实施例公开了一种萃盘夹取机构及其搬运装置，涉及芯片生产设备技术领域。其中，盘夹取机构包括安装架、驱动件、第一夹持件和第二夹持件，搬运装置包括萃盘夹取机构和移动机构。通过本申请实施例，在拆装萃盘时，移动机构带动萃盘夹取机构移动至被夹持件(萃盘)的相应位置前，使得第一夹持件和第二夹持件到达目标位置，然后驱动件驱动第一夹持件和第二夹持件沿预定方向相互靠近，从而夹持住萃盘沿预定方向的两端，以提高萃盘在转运过程中的夹持稳定性，再通过移动机构带动萃盘夹取机构整体移动，进而将萃盘装入相应的设备内或移出相应的设备，从而提升萃盘的转运效率。