中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法

本发明涉及中心对称光栅组件、倾斜角测量方法及倾斜消除方法。该基于中心对称光栅组件的倾斜角测量方法获取第一光栅与第二光栅所形成的至少一个象限内的莫尔条纹，获取该莫尔条纹在象限的两对角线方向的频率分量，通过频率分量计算得到条纹与原始的光栅方向的夹角，通过夹角计算第一光栅与第二光栅之间的倾斜角。在该方案中通过对光栅倾斜后得到的莫尔条纹的频率或者其所等效的相位变化的分解处理可以提取到其正交分量，并基于该正交分量得到相应的莫尔条纹的夹角，进一步可以通过莫尔条纹的倾斜角得到最终的两光栅之间的倾斜角。从而可根据所得的倾斜角对光刻时的掩模与晶圆之间的角度进行校正。