摘要
本发明提供了一种瓷件的高精度摆盘设备及半导体生产线,属于半导体制造领域,该瓷件的高精度摆盘设备包括上料组件、第一多头抓取机构、第二多头抓取机构和下料机构,上料机构包括料盒升降组件和第一搬运组件,第一搬运组件能移动上料盒;第一多头抓取机构包括第一安装部和多个第一夹头,第一安装部用于安装各第一夹头,第一夹头用于夹取以及定位瓷件和上料盒,第二多头抓取机构包括第二安装部和多个第二夹头;下料机构包括料盘升降组件和第二搬运组件,第二搬运组件在第二夹头和料盘升降组件之间转移下料盘,各第二夹头能在下料盘移动中转移瓷件。与现有技术相比,本发明解决了现有的瓷件摆盘的加工成本高和加工步骤复杂的技术问题。
技术关键词
直线驱动模组
多头抓取机构
摆盘设备
搬运组件
升降组件
夹头
下料盘
上料盒
上料机构
机械臂
立轴
相机
动力
夹持机构
半导体
下料机构
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